【招标信用】晶圆缺陷检测分析系统升级改造

一、合同编号： 无
二、合同名称： 晶圆缺陷检测分析系统升级改造
三、项目编号： 4008344341725939435172
四、项目名称： 缺陷检测分析系统升级改造
五、合同主体
采购人（甲方）： 中国科学院微电子研究所
地 址： 北京市朝阳区北土城西路3号
联系方式：010-82995865
供应商（乙方）：无锡迪派斯贸易有限公司
地 址：无锡市滨湖区万达文化旅游城11-213
联系方式：0510-88270216
六、合同主要信息
主要标的名称：晶圆缺陷检测分析系统升级改造
规格型号（或服务要求）：晶圆缺陷检测分析系统KLA2139和缺陷数据分析处理仪 KLA2552 由于长时间使用老化，系统反应速度慢，测片时经常卡片报警,升级改造后可将设备更好得投入关键工艺层缺陷的在线监控
主要标的数量：1
主要标的单价：2180000.00
合同金额： 218.000000万元
履约期限、地点等简要信息：中国科学院微电子研究所
采购方式： 公开招标
七、合同签订日期：
2024-12-12
八、合同公告日期：
2025-01-08
九、其他补充事宜：
附件：
晶圆缺陷检测分析系统升级改造.pdf
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