【招标公告】北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研究平台招标公告

北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工 教学研究平台招标公告 一、项目基本情况 1.项目编号：2441STC73763（BUAAZB20240109） 2.项目名称：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研 究平台 3.项目预算金额：291 万元、项目最高限价（如有）：291 万元 4.采购需求：

包号	标的名称	数量	简要技术需求或服务要求
01	芯片加工教学 研究平台	1 套	一、桌面光刻机 需求 6 台 支持 4 英寸及以下单面曝光，最小曝光线宽 3 μm。系统需配有全电动控制晶圆承载台，XY±12mm，Z 轴 15mm，θ±4°。 系统需配有 405 nm LED 光源，支持升级为 365 nm 光源。 二、小型磁控溅射设备 需求 3 台 1. 要求紧凑型设计，设备总体积小于 1000mm×1300mm×1700mm。 配备机械泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度优 于 9X10-3Pa。 三、小型离子束刻蚀机 需求 3 台 支持 4 英寸晶圆的刻蚀，刻蚀速率可调。 配置辅助离子源，离子束能量 100eV 1000eV 连续可 调。 配备分子泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度≤5×10-4Pa。 四、多功能测试机 需求 1 台 最大磁场强度：≥100 mT@20 mm 气隙。磁场均匀性：≤± 2%@φ1mm。 磁场分辨率：≥0.03 mT。 五、芯片场景演示系统 需求 2 台 系统功能：用于磁性芯片测试，可实现电桥法测试，

并对测试数据进行采集和分析。 系统组成：由左侧触摸屏和右侧芯片测试区组成，测 试区透明盖可开。 六、原子力显微镜 需求 1 台 1.XY 方向噪音水平：≤0.5 nm 闭环；≤0.05nm 开环 2.Z 方向噪音水平：≤0.1 nm 闭环；≤0.06nm 开环 3.XY 方向非线性度：≤0.05%；Z 方向非线性度：≤0.15% 七、小型磁滞回线测量仪 需求 1 台 1.结构：测试与操作一体机设计无需外置电脑 2.测试模式：纵向克尔信号、极向克尔信号 3.样品尺寸：10×10mm 八、等离子体去胶机 需求 1 台 1.腔体材质：316 不锈钢表面处理 ≥10L 腔体 2.电源功率： 0-200W 旋钮可调,独立数字电源手自一 体机，显示实际功率与反射 3.频率：13.56 MHz（偏移量小于 0.2 kHz） 九、金相显微镜 需求 3 台 配备 5X，10X，20X， 50X 物镜。可调光源，支持反射，透射观察。 十、旋涂机 需求 3 台 1.转速 250-9000rpm 2.转速稳定性<±1% 3.含真空泵 十一、铝线键合机 需求 2 台 1.铝丝直径： 0.8 mil-2.0 mil/20 μm ~50 μm 2.焊线跨度：0-10 mm(步进电机,数控调整) 3.焊接弧度：0-6 mm(数控调整) 十二、辅助设备一套 冰箱 1 台（展示冰箱 100L 以内可以在桌面或桌下，用于存储光刻胶），25L 左右鼓风干燥箱 1 个 25L 左 右真空干燥箱 1 个含泵，6 寸热板 2 个

注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。 5.合同履行期限：合同生效后 3 个月内完成供货、安装及调试并达到验收 条件。 6.本项目是否接受联合体投标：否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 本项目专门面向中小企业采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中 小企业制造。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）：无。 3.本项目的特定资格要求： 3.1 本项目是否属于政府购买服务：否。 3.2 其他特定资格要求：无。 三、获取招标文件 1.时间：2024 年 10 月 30 日至 2024 年 11 月 6 日，每天上午 9:00 至 12:00，下午 12:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：中钢招标有限责任公司官网（http://tendering.sinosteel.com）。 3.方式： （1）注册登录：请投标人在中钢招标有限责任公司官网（http:// tendering.sinosteel.com）“投标人登录”栏目办理手续。未注册的投标人请先免 费注册，电子平台将协助对注册信息进行一致性复核。投标人注册时填写的“申报人姓名、申报人手机号码”，应是本项目的联系人，在需要通知有关项 目信息时，招标公司将依据投标人注册时填写的上述联系方式与投标人取得联 系。投标人参与不同项目的经办人可在平台注册多个不同账户。（2）文件获取：请投标人凭注册的手机号码、密码登录，获取并下载电子文件（供应商如计划 参与多个采购包，应按采购包分别获取并下载电子文件）。投标人应充分考虑 平台注册、资料上传、平台复核、网上支付等流程所需的时间，务必在获取文 件截止时间前完成所有手续，否则将无法保证获取招标文件。（3）纸质文件可 与本项目联系人确定领取方式。（4）投标人注册、文件获取等系统操作问题可 咨询 010-86397110。 4.售价：500 元。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 投标截止时间、开标时间：2024 年 11 月 20 日 09 点 30 分（北京时间）。 地点：北京市海淀区柏彦大厦东附楼 开 标室 1。五、公告期限 自本公告发布之日起 5 个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、促进中小企业 及监狱企业发展、促进残疾人就业、支持乡村产业振兴，政府采购政策具体落 实情况详见招标文件。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院 地 址：北京市海淀区学院路 37 号 联系方式：***，*** 采购人业务监督联系人：陈老师，朱老师 联系方式：010-82314673，010-82314680 2.采购代理机构信息 名 称：中钢招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区海淀大街 8 号中钢国际广场 16 层 联系方式：*** 3.项目联系方式 项目联系人：*** 电 话：010-62688223（购买文件、发票咨询）、010-62686386（项目问 询）、liujian5@sstc20.com（项目问询） 中钢招标有限责任公司 2024 年 10 月 30 日