【招标公告】清华大学半自动电学测试系统（清采招第20240006号）单一来源公示

清华大学半自动电学测试系统采购项目单一来源采购公示 一、采购人：清华大学 二、地址：北京市海淀区清华园 三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn 四、项目名称：半自动电学测试系统采购项目 项目编号：清采招第 20240006 号 五、采购内容：半自动电学测试系统 六、采用单一来源采购方式原因及说明 实验所需半自动电学测试系统要求能在宽频带内进行扫描测量以确定网络参量 的综合性微波测量仪器系统，可直接测量有源或无源、可逆或不可逆的双口和单口网 络的复数散射参数，并以扫频方式给出各散射参数的幅度、相位频率特性。自动网络 分析仪能对测量结果逐点进行误差修正，并换算出其他几十种网络参数，如输入反射 系数、输出反射系数、电压驻波比、阻抗（或导纳）、衰减（或增益）、相移和群延 时等传输参数以及隔离度和定向度等。 经调研，市场上只有台湾旺矽科技股份有限公司/MPI 公司有半自动电学测试系统 相关测试经验。该系统主要可用于集成电路（ICs）半导体器件（MOS/FET）微电子机 械系统（MEMS）太阳能光电等功能描述，测试与分析，可以完成自动对焦、找点、校 准及多点重复测试，可任意搭配现有测试主机。能完整实现精密测试，符合本项目中 高精度电压电流和噪声的测试，并满足精密半自动快速测试需求,故采用单一来源的 方式采购。英铂科学仪器（上海）有限公司是其在大陆的代理商。 七、主要配置及技术参数要求： 1.适合 8 英寸及 8 英寸以内样品（可向下兼容 6/4 英寸 Wafer 及单个 DUT）真空吸附 式测试载台。 2.载物台 XY 轴移动行程≥210mm* 340mm，分辨率≤0.1μm,精度≤±4μm，移动速度 ≥100mm/s；Z 轴行程≥10mm,分辨率≤0.2μm,重复性≤±3μm;载物台 Theta 角调节 范围：≥±5°，分辨率小于 0.0018°,重复性＜3μm，精度≤3μm。 3.样品台同时具有加电测试能力，卡盘直径 210mm， 4.显微镜支架可 90 度抬起，方便更换样品。 5.光学变焦系数 0.85x - 8.5x (10:1)，分辨率：2.5 μ m 6.配备整机一体式防震系统。 7.机台多点触控软件操作系统：可简单、直观的操作。具有多种控制方式，显示器多 点触控、一体化控制面板按钮与计算机键鼠套装控制。软件界面简介，方便使用者上 手，减少人员培训时间，以及可能的误操作。 8.符合 TÜV 验证 EN 61010 标准、ISO 12100 和 SEMI S2； 八、供应商：台湾旺矽科技股份有限公司/MPI 公司 供应商地址：新竹縣竹北市中和街 155 號 1-3 樓 代理商：英铂科学仪器（上海）有限公司 代理商地址：上海市松江区广富林东路 199 号启迪漕河泾三期 13 幢 2 层 九、征求意见期限从 2024 年 4 月 22 日至 2024 年 4 月 25 日止。 十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包 括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华 大学(联系人：王琦 62771946，邮箱：)。