【招标公告】真空腔体系统(清采比选20261471号)采购公告

所属地区:北京市 发布日期:2026-10-24

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基本信息

地区 北京 北京市 采购单位 清华大学
招标代理机构 项目名称 真空腔体系统
采购联系人 *** 采购电话 ***
采购项目名称 真空腔体系统 采购项目编号 清采比选20261471号
公告开始时间 2026-10-23 17:29:41 公告截止时间 2026-10-26 18:00:00
对外联系人 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 联系电话 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭
签约时间要求 成交后5个工作日内 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果)
交货时间要求 签订合同后180个自然日内
采购单位 清华大学
最高限价 ¥ 480,000.00 未公布
国内合同付款方式 本合同生效后付50%,货物安装调试运行验收合格后付50%
交货地址 北京市清华大学物理楼
供应商特殊资质要求
无

采购清单1
物资名称 采购数量 计量单位
真空腔体系统 1 套

品牌 品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
单价 ¥ 480,000.00
技术参数及配置要求 1.圆柱形真空腔体(不锈钢304,外径≥255mm,内外表面机械抛光+电化学抛光处理);
2.顶部配有独立的顶法兰,并提供液氮冷屏(本次不采购)的拓展方案;
3.配有1个长传样杆,用于在分子束外延腔室与分析腔室间进行样品传送操作,行程≥700mm,真空状态下移动摩擦力小于2N,旋转扭矩≥0.15 N⋅m;
4.观察窗挡板(部分观察窗配上挡板);
5.观察窗、盲板等真空配件;
6.配有1个量程在5.0E-11 mbar~1.0E-4 mbar的电离规及线缆;
7.配有1套氮气标称抽速≥250L/s、极限真空可达1.0E-11 mbar,工作高压7kV、可250℃全腔体烘烤的离子泵钛泵复合泵;
8.底部配有独立的底法兰,底法兰配有4个CF35和2个CF63的蒸发源安装法兰,底部红外测温用观察窗使用蓝宝石观察窗;
9.侧面2个CF35和1个CF63的蒸发源安装法兰;
10.侧面1个CF35的离子枪安装法兰和3个微漏阀安装法兰;
11.真空漏率:≤1.0*10-12 mbar·L/s;
12.烘烤后,本底真空优于2×10-10Torr,磁力杆与样品台等运动部件在运动时的真空增量小于5×10-10Torr;
13.腔体外侧固定有烘烤加热丝(加热丝可便捷更换),并配有烘烤控制器;
14.烘烤温度:≥200℃;
质保期 12个月

清华大学
2026-10-23 17:29:41

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