【招标公告】高性能三轴气浮位移平台(清采招第20260319号)自行采购理由公示

清华大学
高性能三轴气浮位移平台
采购项目自行采购方式公示
一、采购人：清华大学
二、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：***
sbcwq@tsinghua.edu.cn
四、项目名称：
高性能三轴气浮位移平台
采购项目
项目编号：清采招第
20260319
号
项目预算：
75
万元
五、采购内容：
高性能三轴气浮位移平台
六、采用自行采购方式原因及说明
本项目的科研要求需在超快激光加工中实现稳定的亚微米级三轴定位和多轴协同运动
，
在综合精度、稳定性和控制软件开放性及光纤通讯方面的要求，只有艾罗德克公司的型
号
Automation1
满足要求
，
故采用自行采购方式进行
。
北京微纳通科技有限公司为其科研院所
业务的唯一授权分销商。
七、
技术要求
：
XY
轴直线运动平台
:
行程
≥
50mmx25mm
；
定位精度
≤
士
0.2
μ
m
；
重复性
≤
士
0.l
μ
m
；
直线度
≤±
0.25
μ
m
；
平面度
≤±
0.5
μ
m
；
正交性
5
arcsec
；
速度
≥
100
mm/s
；
Z
轴垂直运动平台
:
行程
25mm
；
定位精度
≤
士
0.3
um
；
重复性
≤
士
0.15
um
；
直线度
≤±
0.5
μ
m
；
平面度
≤±
0.5
μ
m
；
速度
≥
100
mm/s
；
控制器及软件
:
支持多轴插补联动和轨迹规划
；
控制轴数
≥
3
；
支持
.NET
、
C++
、
C
Library
、
G
CODE
二次开发
；
驱动器
:
采用线性放大器
;
配备数字和模拟输入输出接口
；
可对正余弦信号进行
65536
细分
；
通过光纤通讯进行数据交换，抗干扰能力强，通讯稳定性更好。
八、供应商：北京微纳通科技有限公司
地址：北京市海淀区西三旗建材城内
3
幢三层
307
号
九、征求意见期限从
2026
年
8
月
12
日至
2026
年
8
月
17
日止。
十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后
1
个工作日内将书面意见
(
包括：供
应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明
)
反馈至清华大学
(
联系人
：
***
***
，邮箱：
sbcwq@tsinghua.edu.cn
)
。