【招标公告】晶圆测厚干涉仪（清采比选20260876号）采购公告
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基本信息
| 地区 | 北京 北京市 | 采购单位 | 清华大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 晶圆测厚干涉仪 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 采购项目名称 | 晶圆测厚干涉仪 | 采购项目编号 | 清采比选20260876号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2026-07-07 15:29:43 | 公告截止时间 | 2026-07-10 16:00:00 |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后15个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后65个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥ 350,000.00 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后50%，到货验收合格后50% | ||
| 交货地址 | 9003大楼1401B | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 晶圆测厚干涉仪 | 1 | 套 |
| 品牌 品牌1 | 米铱 Micro-Epsilon |
|---|---|
| 型号 | IMS5420 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 350,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 分辨率：<1 nm 测量频率：从100 Hz 至6 kHz 连续可调 线性度：<±50nm 温度稳定性：温度补偿，在 +15...+35 °C 的范围内，稳定性<10ppm 光源：NIR-SLED，约840nm 的窄波带；指示激光器：激光 LED，波长635nm 电源电压：24VDC ±15% 功耗：约10W（24V） 信号输入：同步输入，触发输入，2个编码器（A+，A-，B+，B-，零位信号） 数字接口：以太网 / EtherCAT / RS422/ PROFINET/ EtherNet/IP 控制和显示单元：多功能按键：两种可调功能，长按 10秒后恢复出厂设置； 6个彩色 LED 指示灯，分别用于显示强度、范围、SLED、指示激光、状态和电源；指示激光：可用于辅助传感器准直。 传感器测量范围：距离1mm，厚度0.01 ... 0.7mm 量程起点：1mm 温度稳定性：线性度：典型值0.1nm / K（无偏移） 光斑直径：10µm 测量角度：±2° 目标材料：玻璃、镜面反射或漫反射的表面 连接光路：集成真空光纤的传感器长度为2ｍ，配备 FC/APC 连接器，通过可插拔光纤 FC 插座（真空插件）进行扩展；弯曲半径：静态30mm, 动态40mm |
| 质保期 |
清华大学
2026-07-07 15:29:43
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