【招标公告】EUV能量计（清采比选20260833号）采购公告
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基本信息
| 地区 | 北京 北京市 | 采购单位 | 清华大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | EUV能量计 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 采购项目名称 | EUV能量计 | 采购项目编号 | 清采比选20260833号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2026-06-29 17:09:24 | 公告截止时间 | 2026-07-02 18:00:00 |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后10个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后90个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥ 496,000.00 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 预付款70%，验收合格支付30%尾款 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学蒙民伟科技大楼南楼 | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 积分探测通道 | 4 | 台 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | 自研 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 90,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 探测孔径2mm; EU V反射镜：13 . 5nm波长探测 带宽-/+0.2nm;入射角6°; 探测器：EUV二极管；配置遮光Zr膜1个； 出具同步辐射标定结果 |
| 质保期 | 12个月 |
采购清单2
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 微分探测通道 | 1 | 台 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | 自研 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 96,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 探测孔径2mm; EU V反射镜：13 . 5nm波长探测 带宽-/+0.2nm;入射角6°; 探测器：EUV光阴极探头，配 置遮光Zr膜1个； 出具同步辐射标定结果 |
| 质保期 | 12个月 |
采购清单3
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| Zr滤膜 | 10 | 件 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | 自研 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 4,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 带同步辐射标定结果 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2026-06-29 17:09:24
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