【招标公告】6英寸激光平面干涉仪（清采比选20260834号）采购公告
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基本信息
| 地区 | 北京 北京市 | 采购单位 | 清华大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 6英寸激光平面干涉仪 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 采购项目名称 | 6英寸激光平面干涉仪 | 采购项目编号 | 清采比选20260834号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2026-06-29 17:13:53 | 公告截止时间 | 2026-07-02 18:00:00 |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后30个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥ 440,000.00 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后50%，到货验收合格后50% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 | ; 1.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；2.类似项目业绩证明 (必选) 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 6英寸激光平面干涉仪 | 1 | 套 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 440,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | ■6英寸激光干涉仪主机： 1）测试结构：菲索干涉卧式结构；2）相移方式：机械相移； 3）光源波长：λ=633nm±0.2nm；4）有效测试口径：≥Φ150mm； 5）相机分辨率：≥2.0K×2.0K；6）变焦：1X-5X光学变焦； 7）调焦范围：≥±2.0m； 8）平面透射标准镜（TF）：有效口径≥Φ150mm；标准面精度：PV≤λ/20， RMS≤λ/60（需提供第三方检测机构出具的检测报告）；中频PSD1≤0.8nm；波前梯度GRMS1≤2.6nm； 9）系统检测精度：PV≤λ/20；10）系统重复性精度：RMS≤λ/2000； 11）系统传递函数：ITF≥0.85 @ 0.4mm-1 （需提供标准台阶板测试报告）； 12）五维调整架：含三维平移与两维角度调节、元件加持三爪卡盘，其中，XYZ三维平移：平移范围±7.5mm，平移步进精度0.02mm；XY两维角度调节：调节范围±0.75°，调节精度0.02°；三爪卡盘自定心，最大夹持元件口径≥Φ150mm。 ■导轨及光栅尺 1）导轨及底座：有效长度2m，直线度≤5μm；包含安装底座； 2）光栅尺：有效长度2m，测距精度1μm，重复定位精度0.5μm，测试数据可数字化显示。 ■光学气浮隔振平台 1）平台尺寸：3000mm×1200mm；2）台面采用高导磁性不锈钢，抛亚光密纹理处理； 3）台面按照孔距（25mm×25mm）布置M6螺孔通孔；4）台面平面度：±0.1mm/m2； 5）台面表面粗糙度：≤1.6μm；6）平台采用（四）支撑基础； 7）平台固有频率：垂直1.0Hz-2.0Hz，水平1.0Hz-2.0Hz；8）平台调平方式：自动调平； 9）平台调节高度：±10mm；10）平台隔振方式：空气弹簧。 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2026-06-29 17:13:53
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