【招标公告】激光直写配套金属刻蚀机（清采比选20260623号）采购公告
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基本信息
| 地区 | 北京 北京市 | 采购单位 | 清华大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 激光直写配套金属刻蚀机 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 采购项目名称 | 激光直写配套金属刻蚀机 | 采购项目编号 | 清采比选20260623号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2026-05-21 15:35:05 | 公告截止时间 | 2026-05-24 16:00:00 |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后30个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后120个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥ 480,000.00 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后50%，到货验收合格后50% | ||
| 交货地址 | 北京市怀柔区怀柔新城01街区原福田一工厂院新建B栋 | ||
| 供应商特殊资质要求 | ; 企业质量管理体系认证证书 (必选) ; 环境管理体系认证证书 (必选) ; 营业执照 (必选) ; 依法纳税证明 (必选) ; 依法缴纳社保的证明 (必选) ; 信用记录（查询渠道：信用中国网站和中国政府采购网（www.creditchina.gov.cn、www.ccgp.gov.cn）） (必选) ; 需要供应商提供相应的比选响应文件 (必选) 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 激光直写配套金属刻蚀机 | 1 | 台 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 480,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | ★1 设备应为全新设备，不接受翻新设备； 2 主体结构 2.1 设备机架外包采用不锈钢外壳结合耐腐蚀的聚氯乙烯（PVC）板； ▲2.2 设备顶部配有风机过滤机组（FFU）及防静电系统； 2.3 设备内部配备黄光照明装置，照明装置需做防潮处理； 3 腔体单元系统 3.1 设备为单片双腔配置； ★3.2 腔体配置：包括光刻版显影腔及光刻版腐蚀腔； ★3.3 制版尺寸2~9英寸； 3.4 可支持晶圆及不规则碎片加工； 3.5 可加工光刻版材料：石英及玻璃Cr版；可加工基版厚度：≥3mm； 3.6 显影腔可实现TMAH显影工艺，刻蚀腔可实现Cr腐蚀工艺； 温度控制：TMAH：20-30℃，Cr腐蚀液：22-60℃； ★3.7 温度控制精度：≤±0.5℃； 3.8 温度测量精度满足热电偶9点测试； 3.9 设备可加工光刻版线宽范围：≤2μm； ★3.10 光刻版线条关键线宽（CD）均匀性：max-min：≤400nm； ★3.11 刻蚀的临界尺寸损失在50nm以下，具有高精度； ★3.12 激光直写机配套Cr 版湿法刻蚀； ▲3.13 装载光掩模的卡盘为单尺寸卡盘，卡盘尺寸包括2英寸、5英寸、6英寸、7英寸、9英寸； ▲3.14 上腔体壁上安装两类工艺喷头：一类喷头为扇形喷头，另一类喷 头为柱状喷头，增加喷头可满足不同的工艺需求； 3.15 配备专用光刻版花篮及存放盒； 3.16 主轴转速：≥3500转，转速连续可调，碎片率：≤1/1000（连续累计）； 4 电气单元系统 4.1 设备控制系统由可编程控制系统（PLC）结合PC控制，工控机实现人机交互和运动逻辑控制，可编程控制系统（PLC）实现硬件实时控制和安全联锁控制； ★4.2 采用PLC及人机界面搭配，操作灵活，可控制刻蚀机做多段变速控制，并配合程式做转速、行程设置和时间设定等多种功能，实现人性化操作设计，提高加工可信度和加工的稳定性； ★4.3 安全可靠警报监控，机台开机后，随时监测故障发生，若有故障发生，设备会自动出现报警窗口警告，告知操作人员故障原因，及时采取措施；设备配置安全联锁装置避免安全隐患； 4.4 指示灯可显示设备工作状态； 5 管路系统 5.1 通过设备配备的内置药剂泵从外置药剂罐中抽取工艺所需药剂； ▲5.2 抽液的全氟药剂泵需配备满足化学液循环供应功能的风囊泵或隔膜泵；接液部件材质为四氟乙烯（PFA）或聚四氟乙烯（PTFE），杜绝药剂腐蚀和被污染的问题；管路和焊接点可承受压力不小于2kg； ▲5.3 配备外置药剂罐，采用单桶供应，每种数量不少于2个，分别是显影液，腐蚀液等，药剂处于常压环境； 5.4 药液的流量设定可通过自动流量调节阀等实现； 5.5 设备配置二氧化碳与纯水混合装置，实现超纯水的离子化； 5.6 配备废液重力直排系统，每种废液独立排放，通过气动阀控制排放至厂务端相应的废液管道；配备冲洗废水排放系统，每种废水独立排放，通过气动阀控制排放至厂务端相应的废水管道；排液管道配备传感器，可监控排液状态，提示排液超时报警； 6 控制系统 6.1 包含工艺设备软件一套；设备通过工控机实现设备手动、自动控制；可对不同的操作人员进行不同的权限设置；可对不同的产品线分类分别设置工艺程序；可对设备运行的关键参数实现实时监控；可对设备的加工和报警日志进行记录和查询； 6.2 设备配备漏电断路保护装置、过温和过载保护装置；设备配备氮气、压缩空气压力检测装置，当压力不足时报警提示；设备配备风压检测装置，当厂务风压不足时报警提示； 6.3 设备配备排风系统，排风口位于设备后顶部，排风板为可拆卸可调结构；排风口处设有可调节风门，并配有相应的法兰接口；排风系统可以联动，酸、碱、有机管路分开； 6.4 设备前后方分别配备纯水水枪和氮气气枪，左右各1套前面用于清洁台面及吹干光刻版，后方用于冲洗管路区； 6.5 设备底部配备防漏液托盘、防漏液托盘配备漏液检测装置及废液排放接口； 6.6 设备底部配备脚轮和支撑地脚，方便移动和固定； 6.7 整机所有元件通过CE，CCC或UL认证； 6.8 机台设有紧急停止按钮（前、后均配备，EMO急停按钮：≥2个），急停按钮可实现紧急停止设备运转，EMO停止时间≤3秒； ▲6.9 设备配备备用电源，突然断电时可持续供电时间：≥1小时； ▲6.10 配备六个月内PM需要更换的耗材；配备维护维修专用工具1套； ▲6.11 提供验收使用的石英及玻璃Cr版。 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2026-05-21 15:35:05
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