【招标公告】薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统招标公告

薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统招标公告 项目所在地区：北京市 1.招标条件 本招标项目薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统（项目名称）（项目编号：0730-2511010525/01）招标人为中国航发北京航空材料研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统（设备名称） 采购进行公开招标。 2.项目概况与招标范围 2.1 项目名称：薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统。 2.2 设备名称：薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统。 2.3 数量：2台（薄膜热电偶功能层沉积系统1台、小尺寸磁控溅射试验系统1台）。 2.4 招标文件简要技术规格： 薄膜热电偶功能层沉积系统关键技术指标：（1）薄膜沉积的均匀性：沉积薄膜厚度为2-3μm，偏差±0.1μm；（2）最高加热温度≥500℃，长期工作温度≥450℃，温控精度±5℃；（3）具有连续加工能力，兼容不同尺寸工件加工，最大加工尺寸工件≥1000*400*350mm；（4）具有矩形靶（靶面积≥600*150mm，数量1个）及圆靶（Ф76.2mm，数量4个），至少1台射频电源（≥10kW，厂家：AE、霍廷格等知名品牌或以上），1台直流电源（≥10 kW），2台直流电源（≥1 kW），各靶均可进行射频、直流溅射；（5）真空腔室（低真空部分，极限真空≤8*10-1Pa，抽速：30min真空度≤1Pa），过渡、镀膜腔室（高真空部分，极限真空度≤6.6×10-5Pa，抽速：短时间暴露大气环境，120min真空度≤7×10-4Pa，保压：停泵8h后≤6Pa）。 小尺寸磁控溅射试验系统关键技术指标：（1）真空腔室尺寸≥Ф650*600mm；（2）极限真空度≤6.6×10-5Pa，抽速：短时间暴露大气环境，120min真空度≤7×10-4Pa，保压：停泵8h后≤6Pa ；（3）溅射靶头数量4个，靶头可适配射频、直流两种电源；（4）最高加热温度≥650℃，长期工作温度≥600℃，温控精度±5℃；（5）配备射频电源4台，直流电源1台，其中进口电源数量2台（进口电源品牌为AE、霍廷格等知名品牌同等及以上产品）、（6）靶在上，待沉积样品在下，从上往下沉积。 更多要求详见招标文件。 2.5 交货期：合同签订生效后3个月。 2.6 交货地点：用户现场（北京）。 3.投标人资格要求 3.1 资质要求： （1）在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他组织。投标文件提供有效营业执照复印件或事业单位法人证书复印件或依照《中华人民共和国民法典》规定取得的登记或批准文件复印件。 （2）若投标人为代理商，投标文件提供制造商授权书（原件）。 3.2财务要求： 投标人为企业的，提供2024年度经审计的财务会计报表（复印件），需包含（1）资产负债表（2）现金流量表（3）利润表（4）会计附注或审计报告正文。 投标人为事业单位的，提供2024年度的财务报表复印件，包括资产负债表、收入支出表等主要报表。 投标人成立时间不足一个会计年度的，提供成立以来的财务报表复印件，需包含（1）资产负债表（2）现金流量表（3）利润表。 3.3 业绩要求：不作要求。 3.4 信誉要求： （1）投标人为企业的，未列入国家企业信用信息公示系统（网址https://www.gsxt.gov.cn/index.html）的“经营异常名录”和“严重违法失信名单”。提供国家企业信用信息公示系统查询截图，未提供的则以评标现场公开查询结果为准。 （2）投标人为企业或事业单位的，未列入信用中国（通过信用中国跳转至中国执行信息公开网，网址https://zxgk.court.gov.cn/shixin/）的“失信被执行人”。提供中国执行信息公开网查询截图，未提供的则以评标现场公开查询结果为准。 3.5 其他要求：须提供投标人授权代表开标前4个月内（不含开标当月）连续3个月由投标人缴纳的社保证明材料。 3.6本次招标不接受联合体投标。联合体投标的，应满足下列要求：/。 3.7 按照本公告要求向招标代理机构成功购买招标文件的投标人才具有投标资格。 4.招标文件的获取 4.1 发售时间：2025年9月30日09时00分至2025年10月14日16时00分（北京时间） 4.2 购买方式： （1）第一步：在中国航发网上商城（http://ebid.aecc-mall.com）完成注册、会员认证，并办理CA数字证书（具体费用详询客服电话400-810-8777）。 （2）第二步：通过支付专用链接https://www.avicbid.com/zhj/ananymous/xm/gcdd/bptsf?ywbh=YWFjYWM2ODFkM2E0NDE5YjlhNWM2N2Y4YTM3MTkzMzI=进行付款，保存支付成功的页面截图。如个人汇款的，请注明投标人名称。 （3）第三步：在中国航发网上商城申请购买招标文件订单，付款方式选择“电汇”或“现金”，将第二步保存的支付成功页面截图上传至中国航发网上商城。 （4）第四步：审核通过后，在中国航发网上商城下载招标文件。 （5）第五步：招标文件下载完成后，招标文件电子发票将发送至第二步付款信息所预留的邮箱中，请投标人自行下载办理。 4.3 请投标人务必按照上述步骤顺序操作。第（1）至（4）步缺一不可，若缺少其中任一步骤，均视为未成功购买招标文件。招标文件费用1000元，售后不退。 5.投标文件的递交 5.1 投标文件递交的截止时间：2025年10月21日09时30分（北京时间）。 5.2 投标文件递交的地点： （1）电子投标文件递交至中国航发网上商城。通过中国航发网上商城下载投标文件制作客户端，使用客户端制作投标文件后在该平台上传（需使用CA数字证书完成投标文件加密及签章）。 （2）纸质投标文件递交至中航技国际经贸发展有限公司会议室（北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14/20层）。 5.3 特别说明： （1）投标人的电子投标文件和纸质投标文件，均须按照前述两种方式和时间期限一并递交。投标人逾期通过中国航发网上商城上传电子投标文件的，该电子采购平台及纸质投标文件均将予以拒收；逾期送达的或者未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的纸质投标文件，该纸质投标文件以及前述电子投标文件均将予以拒收。 （2）投标人应严格遵守《中华人民共和国保守国家秘密法》，不得将敏感文件（标识为受控、内部、国家秘密等）上传至中国航发网上商城。 6.开标时间和地点 6.1本项目开标时间：同投标截止时间。 6.2本项目的开标将在线上和线下同时进行。 （1）线下开标地点：同纸质投标文件递交地点。 （2）线上开标地点：中国航发网上商城。 6.3 特别说明：线上开标时，投标人须在规定的时间内解密已上传的电子版投标文件。 7.发布公告的媒介 本次招标公告同时在中国航发网上商城（http://ebid.aecc-mall.com）及中国招标投标公共服务平台（www.cebpubservice.com）上发布。 8.监督部门： 本项目的监督部门为招标人中国航发北京航空材料研究院。 9.联系方式（含异议受理）： 9.1 投标人在投标过程中，如存在不明或异议等事项，可通过以下方式与招标人或招标代理机构进行联系： 招标人：中国航发北京航空材料研究院 地址：北京市海淀区温泉镇环山村 联系人：*** 电话：***   招标代理机构：中航技国际经贸发展有限公司 地址：北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层 联系人：*** 电话：*** 邮箱：aited_beijing@163.com