【招标公告】北航集成电路科学与工程学院靶材与衬底采购公告

1. （1）采购货物有关信息
设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品
靶材与衬底的名称、参数和数量：（严格要求所有靶材满足参数要求并提供质检报告，其中金和铂需要提供第三方质检报告。）

靶材名称	纯度	厚度(mm)	直径(mm)	数量(块)	铸造方式
铱靶(Ir)	≥99.95%	3	50.8	1	粉冶
钌靶(Ru)	≥99.99%	3	50.8	1	粉冶
镍靶(Ni)	99.995%	3	50.8	1	熔融
锰靶(Mn)	99.9%	3	50.8	1	熔融
钴靶(Co)	99.95%	3	50.8	1	熔融
铜靶(Cu)	99.995%	3	50.8	1	熔融
钽靶(Ta)	99.99%	3	50.8	1	熔融
钨靶(W)	99.999%	3	50.8	1	熔融
钛靶(Ti)	99.995%	3	50.8	1	熔融
坡莫合金靶 (Ni82Fe18)	99.9%	3	50.8	1	熔融
镁靶(Mg)	99.99%	3	50.8	1	熔融
氧化铝靶 (Al2O3)	99.99%	3	50.8	1	热压
铝靶(Al)	99.999%	3	50.8	1	熔融
金靶(Au)	≥99.999%	3	50.8	1	熔融
铂靶(Pt)	≥99.99%	3	50.8	2	熔融
钴铁硼靶 (Co20Fe60B20)	99.99%	3	50.8	2	熔融
氧化镁靶 (MgO)	99.99%	3	50.8	1	等静压

衬底名称	晶向	规格(mm)	数量(个)	其他要求
SrTiO3 (STO)	(001)	10x10x0.5	30	单抛
TiO2	(100)	10x10x0.5	20	单抛
TiO2	(110)	5x5x0.5	20	单抛
TiO2	(110)	10x10x0.5	20	单抛
InP	(111)A	5x5x0.5	30	In端面终止，单抛
InP	(111)A	10x10x0.5	20	In端面终止，单抛
AI2O3	(0001)	5x5x0.5	100	单抛
AI2O3	(0001)	10x10x0.5	20	单抛

杂质占比及尺寸规格：（严格要求所有靶材满足参数要求并提供质检报告，其中金和铂需要提供第三方质检报告。）

铱靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
重量	137.72g
铜杂质占比	≤0.0005%
镍杂质占比	≤0.0005%
铝杂质占比	≤0.0005%
镁杂质占比	≤0.002%
杂质总占比	≤0.05%
其他要求	带质检报告
钌靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
重量	75.7g
铝杂质占比	≤0.0005%
铁杂质占比	≤0.002%
镁杂质占比	≤0.0005%
镍杂质占比	≤0.0005%
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	带质检报告
镍靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.005%
其他要求	带质检报告
锰靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.1%
其他要求	绑定2mm铜背靶，带质检报告
钴靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.05%
其他要求	带质检报告
铜靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.005%
其他要求	带质检报告
钽靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	带质检报告
钨靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.001%
其他要求	带质检报告
钛靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.005%
其他要求	带质检报告
坡莫合金靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.1%
其他要求	带质检报告
镁靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	带质检报告
氧化铝靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	绑定2mm铜背靶，带质检报告
铝靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.001%
其他要求	带质检报告
金靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
重量	115.17g
铝杂质占比	≤0.02ppm
硫杂质占比	≤0.1ppm
镁杂质占比	≤0.02ppm
铁杂质占比	≤0.2ppm
杂质总占比	≤0.001%
其他要求	带第三方质检报告
铂靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
重量	130.43g
铜杂质占比	≤0.0006%
铝杂质占比	≤0.0005%
铁杂质占比	≤0.001%
镍杂质占比	≤0.0005%
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	带第三方质检报告
钴铁硼靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	绑定2mm铜背靶，带质检报告 要求进口Kojundo Chemical品牌产品
氧化镁靶材杂质占比及尺寸规格	参数规格
直径	50.7~50.8mm
厚度	3±0.1mm
弯曲	≤0.2mm
杂质总占比	≤0.01%
其他要求	绑定2mm铜背靶，带质检报告 要求进口Kojundo Chemical品牌产品

交货期：两周
交货地点：北京航空航天大学
是否接受进口产品：钴铁硼靶和氧化镁只接受进口产品，其他靶材与衬底不接受接口产品
2、采购预算（最高限价）：47.5万元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；  
    ① 具有独立承担民事责任的能力；
    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
    ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
    ⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；  
    ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。  
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。
邮件标题：公司名称+采购项目名称；
邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；
附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，社保证明，整理为同一个PDF文件发送。不符合要求者不予接收；
截止报名时间：2025年9月4日8时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2025年9月4日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
9月4日8时前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学新北门
王老师收，电话：13864101617
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
***，邮箱：***
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
***，***（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
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