【招标公告】北京理工大学RCA槽式清洗机采购(2024-30802-ZC0588)采购公告
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基本信息
地区 | 北京 北京市 | 采购单位 | 北京理工大学 |
招标代理机构 | 国信国际工程咨询集团股份有限公司 | 项目名称 | 北京理工大学RCA槽式清洗机采购 |
采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购
招标公告
项目概况
北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购 招标项目的潜在投标人应在北京
市丰台区丰葆路 158 号院国信招标 获取招标文件,并于 2024 年 12 月 27
日 9 点 3 0 分( 北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号:GXTC-A1-24630821
项目名称:北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购
预算金额:240.00 万元
最高限价(如有):240.00 万元
采购需求:
其他:投标人必须对招标货物内所有货物进行投标,不允许只投标
其中的一部分,否则作为无效标处理。
合同履行期限:签订合同之日起 4 个月内货到采购人指定地点并安装调
试验收完毕 。
本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无。
3.本项目的特定资格要求:无
三、获取招标文件
时间:2024 年 12 月 5 日至 2024 年 12 月 12 日 ,每天上午 9 时至 12
时,下午 13 时至 17 时(北京时间,法定节假日除外)
地点:北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标
方式:网上报名。
报名流程:
1、请在“国信招标集团单位入库在线申请系统”(http://
user.gxzb.com.cn/ztb/unit/login/register.jsp)注册并填报相关
信息(上述网址仅限电脑端浏览器使用,手机等移动端无法使用)。
2、在上述“国信招标集团单位入库在线申请系统”注册成功后,于
2024 年 12 月 5 日至 2024 年 12 月 12 日 (每日 9:00-12:00,13:00-
17:00,周六、周日及法定节假日除外),将材料发送至
34426938@qq.com ,材料如下:
(1)报名信息编辑文字,包括:项目编号、项目名称、投标单位名
称、投标单位地址、投标单位对公账户信息、投标单位专票开票信息、纳
税人识别号、项目联系人、联系人手机号、邮箱。【注:请不要以附件形
式上传】
(2)标书款付款截图。
(3)邮箱主题为:项目名称-投标单位名称。
标书款账户:
开户名称:国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司
开户银行:招行中关村支行
银行账号:1109090990102012400018908
3、特别提醒:投标单位在“国信招标集团单位入库在线申请系统”第一次注册时填报的人员,默认为该单位的主账号管理员。此次来报名的 人员如发现本单位已注册,则不需要再注册。
售价:人民币 500 元/本,售后不退。只有购买了招标文件并登记备 案的投标人才有资格参与投标。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
时间:2024 年 12 月 27 日 9 点 30 分(北京时间)
地点:北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
1.采购项目执行政府采购政策
(1)根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库〔2020〕46 号),本项目预留份额专门面向中小企业;本项目预留的专门面向中小企业的 份额为 100% 。
(2)优先采购节能环保产品(注:所采购的货物在政府采购节能产 品、环境标志产品实施品目清单范围内,且具有国家确定的认证机构出具 的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书)。
2. 被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)列入失信被执行 人 / 重 大 税 收 违 法 案 件 当 事 人 名 单 的 供 应 商 、 被 中 国 政 府 采 购 网(www.ccgp.gov.cn)列入政府采购严重违法失信行为记录名单中的供应商、被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商(处罚决定规定的时间和地域范 围内),无资格参加本项目的采购活动;
3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位,不得 同时参加本项目的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人,不得再参加本项目投标。
4.本项目若接受联合体投标,联合体各方均应满足《中华人民共和国政 府采购法》第二十二条规定及本条第 2、3 款要求。
5.请投标人在汇款时务必注明所投标项目的招标编号及款项用途,否则,
因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担。
6.接收标书款、服务费的银行账户信息:
开户名称:国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司
开户银行:招商银行中关村支行
银行账号:1109090990102012400018908
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:北京理工大学
地 址:北京市海淀区中关村南大街 5 号
联系方式:张老师
联系电话:010-68917514
2.采购代理机构信息
名 称:国信国际工程咨询集团股份有限公司
地 址:北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标
联系方式:张女士 18610905266
电子邮箱:34426938@qq.com
3.项目联系方式
联 系 人:张女士
联系方式:18610905266
附件:
主要技术要求
★1. 全自动设备,匹配 6 英寸晶圆,并兼容 4 英寸晶圆,配备一套机械 手,操作过程全自动,机械手精度≤0.1mm;
★2. QDR 槽有喷淋、溢流、循环、快排、N2 鼓泡;SPM 对应的水槽用 60℃的水喷淋和溢流;循环槽配备有循环超声波非接触流量计,用于循 环流量监控及工艺参数调整设定;
★3.对于满足国标要求(GB/T 12962-2015)的硅裸晶圆,经过 RCA 槽式清 洗机处理后,4 寸晶圆表面要求尺寸>150nm 的颗粒数量低于 50 颗;#4. 共 配 备 6 个 槽 体 , 3 个 药 液 槽 分 别 对 应 SPM ( 温 控 RT-130±1℃)、SC1(温控 RT-80±1℃)、SC2(温控 RT-80±1℃)药液,药液槽均使用高纯石英,
5.配备 3 个标准 QDR 槽体;药液槽均配备自动配液供液系统,配液精度≤±3%;
6.配备配液暂存槽 3 个,分别暂存 SPM、SC1、SC2 三种药液;
#7.SPM、SC1 对应槽体配备在线加热温控、循环过滤功能,过滤精度 0.1 微米;循环流量≥20L/min,;
8.SC1 槽体配备 950KHz 兆声系统,功率≥600w;
9.配备循环过滤的槽体设备温控精度±1℃,其他槽体温控精度±2℃;10.设备两侧分别配置水枪一只,氮气枪一只;
#11.整机外壳要求使用耐腐蚀材料加工,阻燃 PVC 板制作;
12.设备尺寸不大于 3600mm*1700mm*2000mm;
13.设有安全排风系统,层流速度 0.3-0.5m/s 可调,设备配有排风负压检 测表,用于检测设备负压状况;
14.设备可存储工艺菜单数量≥500 个;
#15.设备控制系统在系统损坏的情况下数据可以进行保存;
16.设备可以实时监控设备运行状况,配备完善的报警和保护设计,排风 压力、液位、排液均有硬件或软件互锁;
17.设备预留 MES 接口。
注:其他技术要求详见招标文件
计划财务部
2024 年 12 月 5 日
序 号 | 货物名称 | 主要规格 | 单 位 | 数 量 | 交货 时间 | 交货 地点 | 是否接受 进口产品 投标 |
1 | RCA 槽式清洗机 | 详见附件 | 台 | 1 | 签订合同之日 起 4 个月内货到 采购人指定地 点并安装调试 验收完毕 | 北京理 工大学 良乡校 区信创 楼 A 一 层 | 否 |
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