【招标公告】北京理工大学RCA槽式清洗机采购（2024-30802-ZC0588）采购公告

北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购 招标公告 项目概况 北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购 招标项目的潜在投标人应在北京 市丰台区丰葆路 158 号院国信招标 获取招标文件，并于 2024 年 12 月 27 日 9 点 3 0 分（ 北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：GXTC-A1-24630821 项目名称：北京理工大学 RCA 槽式清洗机采购 预算金额：240.00 万元 最高限价（如有）：240.00 万元 采购需求：

序 号	货物名称	主要规格	单 位	数 量	交货 时间	交货 地点	是否接受 进口产品 投标
1	RCA 槽式清洗机	详见附件	台	1	签订合同之日 起 4 个月内货到 采购人指定地 点并安装调试 验收完毕	北京理 工大学 良乡校 区信创 楼 A 一 层	否

其他：投标人必须对招标货物内所有货物进行投标，不允许只投标 其中的一部分，否则作为无效标处理。 合同履行期限：签订合同之日起 4 个月内货到采购人指定地点并安装调 试验收完毕 。 本项目不接受联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2024 年 12 月 5 日至 2024 年 12 月 12 日 ，每天上午 9 时至 12 时，下午 13 时至 17 时（北京时间，法定节假日除外） 地点：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标 方式：网上报名。 报名流程： 1、请在“国信招标集团单位入库在线申请系统”（http:// user.gxzb.com.cn/ztb/unit/login/register.jsp）注册并填报相关 信息（上述网址仅限电脑端浏览器使用，手机等移动端无法使用）。 2、在上述“国信招标集团单位入库在线申请系统”注册成功后，于 2024 年 12 月 5 日至 2024 年 12 月 12 日 （每日 9:00-12:00，13:00- 17:00，周六、周日及法定节假日除外），将材料发送至 34426938@qq.com ，材料如下： （1）报名信息编辑文字，包括：项目编号、项目名称、投标单位名 称、投标单位地址、投标单位对公账户信息、投标单位专票开票信息、纳 税人识别号、项目联系人、联系人手机号、邮箱。【注：请不要以附件形 式上传】 （2）标书款付款截图。 （3）邮箱主题为：项目名称-投标单位名称。 标书款账户： 开户名称：国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司 开户银行：招行中关村支行 银行账号：1109090990102012400018908 3、特别提醒：投标单位在“国信招标集团单位入库在线申请系统”第一次注册时填报的人员，默认为该单位的主账号管理员。此次来报名的 人员如发现本单位已注册，则不需要再注册。 售价：人民币 500 元/本，售后不退。只有购买了招标文件并登记备 案的投标人才有资格参与投标。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 时间：2024 年 12 月 27 日 9 点 30 分（北京时间） 地点：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起 5 个工作日。 六、其他补充事宜 1.采购项目执行政府采购政策 （1）根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46 号），本项目预留份额专门面向中小企业；本项目预留的专门面向中小企业的 份额为 100% 。 （2）优先采购节能环保产品（注：所采购的货物在政府采购节能产 品、环境标志产品实施品目清单范围内，且具有国家确定的认证机构出具 的、处于有效期之内的节能产品、环境标志产品认证证书）。 2. 被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）列入失信被执行 人 / 重 大 税 收 违 法 案 件 当 事 人 名 单 的 供 应 商 、 被 中 国 政 府 采 购 网（www.ccgp.gov.cn）列入政府采购严重违法失信行为记录名单中的供应商、被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范 围内），无资格参加本项目的采购活动； 3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同单位，不得 同时参加本项目的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参加本项目投标。 4.本项目若接受联合体投标，联合体各方均应满足《中华人民共和国政 府采购法》第二十二条规定及本条第 2、3 款要求。 5.请投标人在汇款时务必注明所投标项目的招标编号及款项用途，否则， 因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担。 6.接收标书款、服务费的银行账户信息： 开户名称：国信国际工程咨询集团股份有限公司北京第四分公司 开户银行：招商银行中关村支行 银行账号：1109090990102012400018908 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京理工大学 地 址：北京市海淀区中关村南大街 5 号 联系方式：张老师 联系电话：010-68917514 2.采购代理机构信息 名 称：国信国际工程咨询集团股份有限公司 地 址：北京市丰台区丰葆路 158 号院国信招标 联系方式：张女士 18610905266 电子邮箱：34426938@qq.com 3.项目联系方式 联 系 人：张女士 联系方式：18610905266 附件： 主要技术要求 ★1. 全自动设备，匹配 6 英寸晶圆，并兼容 4 英寸晶圆，配备一套机械 手，操作过程全自动，机械手精度≤0.1mm； ★2. QDR 槽有喷淋、溢流、循环、快排、N2 鼓泡；SPM 对应的水槽用 60℃的水喷淋和溢流；循环槽配备有循环超声波非接触流量计，用于循 环流量监控及工艺参数调整设定； ★3.对于满足国标要求（GB/T 12962-2015）的硅裸晶圆，经过 RCA 槽式清 洗机处理后，4 寸晶圆表面要求尺寸>150nm 的颗粒数量低于 50 颗；#4. 共 配 备 6 个 槽 体 ， 3 个 药 液 槽 分 别 对 应 SPM （ 温 控 RT-130±1℃）、SC1（温控 RT-80±1℃）、SC2（温控 RT-80±1℃）药液，药液槽均使用高纯石英, 5.配备 3 个标准 QDR 槽体；药液槽均配备自动配液供液系统，配液精度≤±3%； 6.配备配液暂存槽 3 个，分别暂存 SPM、SC1、SC2 三种药液； #7.SPM、SC1 对应槽体配备在线加热温控、循环过滤功能，过滤精度 0.1 微米；循环流量≥20L/min,； 8.SC1 槽体配备 950KHz 兆声系统,功率≥600w； 9.配备循环过滤的槽体设备温控精度±1℃，其他槽体温控精度±2℃；10.设备两侧分别配置水枪一只，氮气枪一只； #11.整机外壳要求使用耐腐蚀材料加工，阻燃 PVC 板制作； 12.设备尺寸不大于 3600mm*1700mm*2000mm； 13.设有安全排风系统，层流速度 0.3-0.5m/s 可调，设备配有排风负压检 测表，用于检测设备负压状况； 14.设备可存储工艺菜单数量≥500 个； #15.设备控制系统在系统损坏的情况下数据可以进行保存； 16.设备可以实时监控设备运行状况，配备完善的报警和保护设计，排风 压力、液位、排液均有硬件或软件互锁； 17.设备预留 MES 接口。 注：其他技术要求详见招标文件 计划财务部 2024 年 12 月 5 日