【招标公告】清华大学电子束曝光系统维修保养服务采购项目（清采招第20240159号）单一来源公示

清华大学电子束曝光系统维修保养服务采购项目单一来源公示 一、采购人：清华大学 二、地址：北京市海淀区清华园 三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn 四、项目名称：电子束曝光系统维修保养服务采购项目 项目编号：清采招第 20240159 号 五、采购内容：电子束曝光系统维修保养服务 六、采用单一来源采购方式原因及说明 纳米中心的电子束曝光设备（JBX-6300FS）加工精度高，组成复杂，其中包含较多的易 损耗部件，例如电子枪、机械泵、激光器等等，为避免局部故障造成停机，设备需要定期保 养维护。电子枪是该设备的关键部件之一。该设备采用的 ZrO/W 肖特基场致发射电子枪，比 较容易衰减，需要根据实际使用情况定期更换。电子枪、电路板等很多零部件都是为此设备 定制生产的，因此只能由原厂在中国的公司捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司提供维修服 务，故采用单一来源的方式进行。 七、服务要求： 1）维修保养服务期限为 2024/10/01 至 2025/09/30 截止； 2）维修保养服务期间，承担维修设备所产生的人工技术服务费和零部件更换费用； 3）设备如果有部件损坏，提供维修或者更换服务。（故意损坏或操作错误或建筑物事 故以及自然灾害等原因导致损坏的部件除外）； 4）设备出现工作异常情况，随时提供远程指导，排除故障。如果必要及时到达用户现 场，排除故障。（除紧急情况外，电话服务以及现场服务仅限定在法定工作日的正常工作时 间内）； 5）故障响应时间为 1 个工作日，到场时间为 5 个工作日； 6）定期更换易损零部件，包括干泵、循环水箱滤芯等。 八、供应商：捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司 供应商地址：上海市闵行区曲吴路 589 号中国梦谷产业园区 3 号楼 九、征求意见期限从 2024 年 9 月 4 日至 2024 年 9 月 9 日止。 十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包括：供 应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华大学(联系人： 王琦 62771946，邮箱：)。