【招标公告】形貌测量系统(清采比选20240693号)采购公告

所属地区:北京市 发布日期:2024-07-28

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基本信息

地区 北京 北京市 采购单位 清华大学
招标代理机构 项目名称 形貌测量系统
采购联系人 *** 采购电话 ***
采购项目名称:形貌测量系统
采购项目编号:清采比选20240693号
对外联系人:本项目不接受咨询
联系电话:本项目不接受咨询
采购单位:清华大学
物资名称:形貌测量系统
采购数量:1
计量单位:套
单价:¥380000
技术参数及配置要求:1.垂直分辨率:0.1 nm;2.测量范围:600 μm;3.最大测应力:50 mg;4.样品台范围:100mm×25mm;φ160mm;5.重现性:≤0.2nm(当台阶≤1μm);6.X轴直线度精度:≤0.2μm/100mm;7.传感器感测方式:直动式;8.机台一体式标配花岗岩减震基座,无需额外提供防震平台;9.标准片1片,台阶高度0.403μm;10.解析软件:满足台阶和平面度,应力等检测和数据导出。
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